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日刊工業新聞 [金属含有DLC処理] [コーティング装置、オランダから導入] 東研サーモテック(川嵜修社長)は国内初の金属含有ダイヤモンドライク カーボン(Me−DLC)処理ができるコーティング装置をオランダのハウザー 社から導入、巽工場(大阪市生野区)に設置して2000年2月から稼動 させる。高い密着性を摩擦係数の低いコーティングを可能にするうえ、 従来のDLCに比べ約2分の1の低コストが特徴。これで自動車の燃料 噴射ポンプ部品など、摺動麺に使用する部品加工などを行う。 同装置はチャンパー内部を真空にし、回転運動によってコーティング を行う。従来のDLCに比べ2分の1の200℃以下の低温で処理でき、 1−4マイクロメートルの厚膜を形成できる。 密着強度は2倍以上の100ニュートンを実現する。ビッカーズ硬度を 2分の1のHV1500程度に抑え、粘りとはがれにくさを確保し、5分の1 という低摩擦係数μ0.1以下を実現した。 (1999.12.16付より抜粋)
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