セラハード事業部

案内図(PDF)

〒544-0015　大阪市生野区巽南3-6-10

TEL：06-6757-5681�� FAX:06-6757-6167

敷地／552�u　建物／772�u

熱処理設備

区分	タイプ	主な用途
PVD装置	HCD垂直ビーム型	表面処理
	AIP円形カソード型	表面処理
	ACA長方形カソード型	表面処理
	UBM長方形カソード型	表面処理
	AGA/UBM複合型	表面処理
その他	多槽自動搬送式洗浄装置	前洗浄

検査設備

計測器区分	名称
膜厚測定機	カロテスター
マクロ観測装置	マイウロスコープ